Thảo luận về nguyên tắc xử lý khí đuôi bán dẫn

Công nghệ đốt / giặt nước

Hai quá trình hoạt động đồng thời trong không gian nhỏ nhất —— Đốt và rửa, đưa khí thải vào thiết bị đốt vòng. Tùy thuộc vào thành phần hóa học của khí thải sẽ diễn ra các phản ứng khác nhau (oxi hóa, khử, nhiệt phân). Trong quá trình cọ rửa tiếp theo, các hợp chất rắn và khí hòa tan được tạo ra bởi quá trình đốt cháy được hấp thụ và làm mát bằng chất lỏng cọ rửa thích hợp.

Xử lý khí thải-nhiệt phân

Khí thải sinh ra từ quá trình sẽ được đốt cháy trong vùng phân hủy. Một số khí đốt cũng có thể được sử dụng nếu muốn. Tùy thuộc vào thành phần hóa học của khí thải, các phản ứng hóa học khác nhau xảy ra trong quá trình đốt cháy, chẳng hạn như quá trình oxy hóa, khử hoặc nhiệt phân.

Máy chà ướt cho các chất hòa tan trong nước

Rửa ướt là một quá trình hiệu quả để xử lý các chất ô nhiễm hòa tan trong nước trong khí thải công nghiệp. Chất tẩy ướt chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn như một điểm sử dụng (POU). Chúng được lắp đặt chặt chẽ phía sau một máy bơm chân không để bảo vệ hệ thống khí thải của nhà máy khỏi ô nhiễm và ăn mòn, đồng thời việc bảo trì sẽ nhanh chóng và dễ dàng.

Bộ sưu tập tĩnh điện của các hạt kích thước micrô và kích thước nano

Bộ lọc tĩnh điện sử dụng điện trường để làm sạch khí thải công nghiệp và loại bỏ các hạt. Hệ thống có thể lọc khí thải công nghiệp có chứa các hạt nano và micromet hoặc có chứa sol khí, chẳng hạn như khí thải được tìm thấy trong ngành công nghiệp TFT.